又一大廠發力AR用單片Micro LED顯示器

作者 | 發布日期 2020 年 10 月 14 日 14:37 | 分類 Micro LED

日前,美國半導體應用化學機械拋光(CMP)、晶圓減薄和晶圓拋光表面處理解決方案全球供應商Axus Technolog宣布與Compound Photonics(CP,也稱CP Display)開展新的合作,旨在加快推動5μm Micro LED走向大眾市場的步伐。

Axus與CP正在合作集成關鍵的晶圓級工藝,以量產CP的2μm、1080P Micro LED顯示器,用于下一代AR眼鏡。值得注意的是,Axus將部署配置集成式化學機械研磨后清洗(Post CMP Cleaning))功能的Capstone? CMP系統,以提供晶圓平面化和表面處理解決方案,從而成功實現Micro LED晶圓與高性能CMOS背板的晶圓級接合。

Axus的CMP處理能力對實現CP專有的小間距Micro LED(外延襯底未透露)集成工藝方案來說至關重要。Capstone CMP系統提供多晶圓的可重復性和晶圓內的平面性能,可靠地實現Micro LED和CMOS背板晶片之間數百萬微米級的電接觸,解決了關鍵的批量生產工藝要求,即始終生產具有視覺一致性的Micro LED模塊。這些Micro LED模塊可滿足小型、低功率、高亮度AR/MR等近眼顯示器應用的需求。

據介紹,Axus和CP已于2020年初達成合作,旨在共同開發Micro LED陣列和CMOS背板晶片之間的晶圓級接合工藝集成。此次深化合作關系進一步表明雙方在推動Micro LED顯示器制造工藝和集成技術方面的決心。

圖片來源:Compound Photonics

另值得一提的是,在發展可穿戴設備用單片Micro LED顯示技術的道路上,除了CP,Plessey也選擇了與Axus強強聯合,三家公司之間合作關系緊密。

今年2月初,Plessey宣布與Axus達成合作,雙方合作的領域是高性能硅基氮化鎵單片Micro LED,前者向后者采購金屬及氧化物CMP和相關工具,實現Micro LED晶圓與高性能CMOS背板的晶圓級接合。

同月,Plessey與CP也達成戰略合作關系,并宣布生產出首批完全可尋址的AR/MR用Micro LED顯示器模塊,點亮首個0.26英寸對角線單色天然綠集成Micro LED顯示模塊。

迄今為止,CP、Plessey、JBD、Vuzix、Facebook等全球范圍內大廠的動態均表明,Micro LED正在持續成為最有潛力滿足AR/MR應用關鍵需求的顯示解決方案。因此,對于降低成本和量產商用化AR/MR頭戴式設備而言,Micro LED制程技術的創新起到關鍵作用。(文:LEDinside Janice)

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